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簡(jiǎn)要描述：CVD系統(tǒng)由供氣系統(tǒng)+管式爐+抽氣系統(tǒng) ，最高溫度可以達(dá)到1200度、1400度、1600度、1700度，加熱區(qū)間可以是單溫區(qū)、雙溫區(qū)、三溫區(qū)等，極限真空可以達(dá)到10-3Pa，供氣系統(tǒng)是流量調(diào)節(jié)可以是質(zhì)子流量計(jì)或浮子流量計(jì)，混氣路數(shù)可以是2路、3路、4路、5路相混合。
產(chǎn)品型號(hào)： 廠商性質(zhì)：生產(chǎn)廠家更新時(shí)間：2024-07-15訪 問(wèn) 量：1889相關(guān)文章
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簡(jiǎn)介：
這款CVD系統(tǒng)是由3路供氣系統(tǒng)+1200度單溫區(qū)管式爐+真空系統(tǒng)組成
技術(shù)參數(shù)：
| 設(shè)備型號(hào) | MFLCVD406-12 | |
| 性能 | 控溫范圍 | 室溫-1200℃ |
| 工作溫度 | ≤1100℃ | |
| 控溫精度 | ＜1000 ±0.1℃ ； ≥1000±1℃ | |
| 恒溫波動(dòng) | ±1℃（測(cè)試點(diǎn)為1000℃） | |
| 升溫速度 | 推薦1000度以下≤10℃/min，最快升溫速度≤30℃/min | |
| 降溫速度 | 700℃以上≤10℃/min | |
| 爐表溫度 | 爐體表面溫度小于室溫+10（測(cè)量點(diǎn)為1000℃） | |
| 構(gòu)成 | 外裝 | 冷軋鋼板，表面耐藥性涂裝 |
| 爐體 | 陶瓷纖維 | |
| 傳感器 | 1200度K型熱電偶 | |
| 加熱元件 | HDR優(yōu)質(zhì)電阻合金絲 | |
| 冷卻風(fēng)葉 | 軸流風(fēng)扇 | |
| 爐體結(jié)構(gòu) | 雙層殼體結(jié)構(gòu)，配有風(fēng)冷系統(tǒng) | |
| 控制器 | 控制方式 | PID控制 |
| 設(shè)定表示 | 數(shù)字設(shè)定/數(shù)字顯示 | |
| 超溫保護(hù) | 控制器一體型 | |
| 超溫設(shè)定 | 數(shù)字設(shè)定 | |
| 運(yùn)行功能 | 定制運(yùn)行/程序運(yùn)行（30段程序控溫） | |
| 附加功能 | 偏差修正、停電補(bǔ)償、鎖鍵功能 | |
| 定時(shí)器 | 1分-99小時(shí)59分以及999小時(shí)50分?jǐn)?shù)字設(shè)定、自動(dòng)運(yùn)行、快速自動(dòng)停止 | |
| 真空系統(tǒng) | 真空度 | 1.選配機(jī)械泵可達(dá)真空 10的-2次pa 2.選配我司高真空系統(tǒng)（機(jī)械泵+分子泵組合），可達(dá)1.33*10的-4次方pa（空爐狀態(tài)） |
| 隔熱管堵 | 2只，氧化鋁材料 | |
| 爐管 | 石英管 | |
| 真空法欄 | 不銹鋼真空法蘭 | |
| 壓力表 | -0.1至0.15mpa | |
| 供氣系統(tǒng) | 質(zhì)子流質(zhì)計(jì) | 量程和氣體：5-500SCCM、1-10SLM （你可以任意選擇以上量程和所通氣體的類型） 流量控制精度 ±1.0%F.S |
| 路數(shù) | 1 、2、3、4、5、6、7、8 路（可任意選擇幾路） | |
| 接頭類型 | 雙卡套不銹鋼接頭 | |
| 壓力真空表表 | -0.1~0.15MPa 0.01MPa/格 | |
| 安全 | 工作環(huán)境 | RT±5-40℃ |
| 使用保障 | 開門斷電 超溫報(bào)警 漏電保護(hù) 過(guò)溫保護(hù) | |
| 規(guī)格 | 爐體結(jié)構(gòu) | 臥式 |
| 爐管尺寸 | Φ60mm | |
| 電源電壓 | 220V50HZ | |
| 輸入功率 | 4KW | |
| 出廠清單 | 管式爐 | 一臺(tái) |
| 供氣系統(tǒng) | 一套 | |
| 高溫手套 | 卡斯頓一雙 | |
| 爐勾 | 一把 | |
| 氣管 | 一根 | |
| 設(shè)備說(shuō)明書 | 一份 | |
| 儀表說(shuō)明書 | 一份 | |
| 保修卡 | 一份 | |
| 選購(gòu)品 | 移動(dòng)爐架 | 不銹鋼 |
| 觸摸屏儀表485轉(zhuǎn)換接口 | 50段編程，可實(shí)現(xiàn)與計(jì)算機(jī)連接。通過(guò)專用的計(jì)算機(jī)控制系統(tǒng)來(lái)完成與單臺(tái)或多臺(tái)電爐的遠(yuǎn)程控制、實(shí)時(shí)追蹤、歷史記錄、輸出報(bào)表等功能。 |
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